Kondüktör Mekteb-i Alisi Dönemi (1911-1922):
Vilayet nafia idarelerinin "fen memuru" (eski adıyla kondüktör, yeni adıyla tekniker) gereksinimlerini karşılamak amacıyla 1911'de Kondüktör Mekteb-i Alisi adıyla, Paris'teki "Ecol de Conducteur"ün müfredat programı esas alınarak Bayındırlık Bakanlığı'na bağlı bir okul kurulmuş ve okula öğrenci kaydına 22 Ağustos 1911'de başlanmıştır.Nafia Fen Mektebi Dönemi (1922-1937):
1922 'de okulun adı Nafia Fen Mektebi'ne dönüştürülmüş, öğrenim süresi 1926'da 2.5 yıla ve 1931'de 3 yıla çıkarılmıştır.Yıldız Teknik Okulu Dönemi (1937-1969):
Türkiye'de imar işlerinin ve teknik hizmetlerin artması nedeniyle Fen memurları ile yüksek mühendisler arasında oluşan Türkiye'de imar işlerinin ve teknik hizmetlerin artması nedeniyle oluşan boşluğu doldurmak amacıyla 19 Aralık 1936 tarihinde yayımlanan ve 1 Haziran 1937 tarihinde yürürlüğe giren 3074 sayılı Yasa ile Nafia Fen Mektebi lağvedilerek yerine Teknik Okul kurulmuştur. 2 yıllık Fen memuru ve 4 yıllık mühendislik bölümleri olan okula Yıldız Sarayı müştemilatından, bugün de kullanılmakta olan binalar tahsis edilmiş ve buraya taşınılmıştır.İlk kuruluşta fen memuru ve mühendislik dalında öğrenci yetiştiren inşaat ve makina bölümleri varken 1942 ve 1943 ders yılından itibaren mühendislik kısmında elektrik ve mimarlık bölümleri açılmıştır. Okul, 26 Eylül 1941 tarihinde yayımlanan İstanbul Yüksek Mühendis Okulu ve Teknik Okulu'nun Maarif Vekaleti'ne devri Hakkında Kanun uyarınca Nafia Vekaleti'nden alınarak Maarif Vekaletine bağlanmıştır.
Milli Eğitim Bakanlığı'nın 07 Haziran 1949 tarihli kararıyla Harita ve Kadostro Mühendisliği kurulmuş ve Türkiye'de bu dalda mühendis yetiştiren ilk kuruluş olarak 1949-1950 ders yılında öğretime başlamıştır. 1951-1952 ders yılından itibaren Teknikerlik kısmı kapatılmıştır.
1959-1960 ders yılında Yıldız Teknik Okulu içinde bir ihtisas bölümü açılarak bir yıllık öğrenim sonunda yüksek mühendis ve yüksek mimar ünvanları verilmeye başlanmıştır.